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電子廠房潔凈工程及光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料凈化參數(shù)

電子廠房潔凈工程及光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料凈化參數(shù)
光學(xué)微電子凈化車間亦名光學(xué)微電子無塵室或光學(xué)微電子潔凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密電子元件、液晶制造、光學(xué)儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。

電子廠房潔凈工程開工現(xiàn)場實拍圖光學(xué)微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

產(chǎn)品簡介:
凈化原理
氣流→凈化初效過濾器→空調(diào)→凈化中效過濾器→凈化風(fēng)機FFU送風(fēng)→管道→凈化高效送風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?!仫L(fēng)百葉窗→凈化初效過濾器重復(fù)以上過程,即可達到凈化目的。

凈化工程

凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

結(jié)構(gòu)材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

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